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    小型直流磁控濺射儀

    產(chǎn)品簡介

    小型直流磁控濺射儀,觸摸屏控制,時間調(diào)節(jié)電流控制功率,還可調(diào)節(jié)鍍膜時間,有工藝儲存功能方便下次使用和工藝一致

    產(chǎn)品型號:KT-Z1650PVD
    更新時間:2024-03-27
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:1874
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    品牌鄭科探濺射氣體氬氣
    樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏控制
    樣品倉尺寸φ160mm靶材尺寸φ50mm
    靶材材質(zhì)金銀銅鎳鐵鉻等價格區(qū)間1-5萬
    產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

    小型直流磁控濺射儀

    輕便、濺射面積大
    靶材可按用戶要求加工制作

    小型離子濺射儀信息由南京舜儀實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于小型離子濺射儀報(bào)價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢

    離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔,之后試樣復(fù)原,再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體

    637527962092626767271.jpg

    小型直流磁控濺射儀技術(shù)參數(shù);

    控制方式

    7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    功率

    ≤1000W

    輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    真空

    機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺

    可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

    樣品臺轉(zhuǎn)速

    8轉(zhuǎn)/分鐘

    樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

    40-105mm

    真空測量

    皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預(yù)留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口










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