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    桌面小型蒸鍍儀

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    桌面小型蒸鍍儀電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn),臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比,非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用

    產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650CVD
    更新時(shí)間:2024-03-27
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:1502
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    品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
    應(yīng)用領(lǐng)域綜合

    桌面小型蒸鍍儀

    工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲(chǔ)存;

    -

    原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM),光學(xué)監(jiān)測(cè),殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制;

    -

    襯底固定:?jiǎn)我r底固定,客戶化襯底固定方式;



    -       襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;

    -       保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動(dòng)或自動(dòng)開/關(guān)擋板,達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果;

    不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

    637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

    637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


    真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


    桌面小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD

    控制方式

    7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

    加熱方式

    數(shù)字式功率調(diào)整器

    鍍膜功能

    0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    最大功率

    1200W

    最大輸出電壓電流

    電壓≤12V  電流≤120A

    真空度

    機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

    樣品臺(tái)

    可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

    樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

    8轉(zhuǎn)/分鐘

    樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

    70-140mm

    蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

    1800

    支持蒸發(fā)坩堝類型

    鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

    預(yù)留真空接口

    KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

    可選配擴(kuò)展

    機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

    數(shù)顯真空計(jì)(測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa

    分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa





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