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    真空探針臺

    產品簡介

    真空探針臺KT-Z160TZ,高溫真空腔探針系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。

    產品型號:KT-Z160TZ
    更新時間:2024-03-29
    廠商性質:生產廠家
    訪問量:1583
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    品牌鄭科探

      真空探針臺KT-Z160TZ主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動從功能上來區分有:溫控探針臺,真空探  針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成

      高低溫真空 探針臺應用:

      可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

      · 結構緊湊,適用于各種變溫測試

      · -196℃~400℃(配液氮致冷模塊)

      · 氣密腔室設計,可通保護氣氛

      · 4探針,手動定位(可擴展為6個)

      · 支持改動或定制

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    真空探針臺KT-Z160TZ參數

     

     

    真空腔體

     

    腔體材質

     

    304不銹鋼

     

    上蓋開啟

     

    鉸鏈側開

     

    加熱臺材質

     

    304不銹鋼

     

    內腔體尺寸

     

    φ160x90mm

     

    觀察窗尺寸

     

    Φ70mm

     

    加熱臺尺寸

     

    φ60mm

     

    觀察窗熱臺間距

     

    75mm

     

    加熱臺溫度

     

    ﹣196~400℃

     

    加熱臺溫控誤差

     

    ±1℃

     

    真空度

     

    機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

     

    允許正壓

     

    ≤0.1MPa

     

    真空抽氣口

     

    KF25真空法蘭

     

    氣體進氣口

     

    3mm-6mm卡套接頭

     

    電信號接頭

     

    SMA轉BNC X 4

     

    電學性能

     

    絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

     

    探針數量

     

    4探針

     

    探針材質

     

    鎢針  

     

    探針尖

     

    10μm

     

    探針移動平臺

     

    X軸移動行程

     

    30mm    ±15mm

     

    X軸控制精度

     

    ≤0.01mm

     

    Y軸移動行程

     

    13mm    ±12.5mm

     

    Y軸控制精度

     

    ≤0.01mm

     

    Z軸移動行程

     

    13mm    ±12.5mm

     

    Z軸控制精度

     

    ≤0.01mm

     

    電子顯微鏡

     

    顯微鏡類別

     

    物鏡

     

    物鏡倍數

     

    0.7-4.5倍

     

    工作間距

     

    90mm

     

    相機

     

    sony 高清

     

    像素

     

    1920※1080像素

     

    圖像接口

     

    VGA

     

    LED可調光源

     

     

    顯示屏

     

    8寸

     

    放大倍數

     

    19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

     

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