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    DS300質量流量控制器氣體配比器

    產品簡介

    DS300質量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小,精度高,響應速度快,壓力不敏感的特點,產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

    產品型號:KT-C4ZS
    更新時間:2024-03-29
    廠商性質:生產廠家
    訪問量:1636
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    品牌鄭科探價格區間面議
    產品種類其他介質分類氣體
    產地類別國產應用領域化工,電子

    DS300質量流量控制器氣體配比器

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    DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小,精度高,響應速度快,壓力不敏感的特點,產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

    DS300質量流量控制器氣體配比器

    • 控制精度高,精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
    • 響應速度快,響應時間≤ 0.5sec。
    • 采用基于壓力原理的流量傳感器技術,使產品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動。
    • DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實現孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理,*符合SEMI標準要求。

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    技術參數

    DS300C

    類型

    DS300C

    閥類型

    常閉

    流量規格(N2)

    (0~30,50,100,200,300,500)  SCCM
    (0~1,2,3,5,10)            SLM

    準確度

    ±1% S.P. (≥10% F.S.)       
    ±1% F.S. (<10% F.S.)       

    線性

    ±0.5% F.S.

    重復精度

    ±0.2% F.S.

    響應時間

    ≤ 0.5sec            

    進口壓力

    240~450KPa 流量規格≤5SLM
    350~450KPa  流量規格>5SLM

    出口壓力

    ≤1.2KPa    流量規格≤5SLM
    ≤13.3KPa  流量規格>5SLM

    溫度系數

    零點:≤±0.02% F.S./℃;
    調節時:≤±0.1% F.S./℃

    耐壓

    3 MPa

    漏率

    1×10-11 Pa·m3 / sec He

    密封材料

    金屬密封

    最大工作壓力

    0.45MPa

    工作環境溫度

    (10~45)℃

    輸入信號

    數字:RS485 或 DeviceNet
    模擬:(0~5)VDC

    輸出信號

    數字:RS485 或 DeviceNet  
    模擬:(0~5)VDC

    零漂

    在沒有零點校正時<0.6%F.S./年

    電源

    ±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極)

    表面化學成分

    Cr/Fe比例≥2.0;
    CrO 厚度≥20 (埃)

    表面粗糙度

    Ra  5μinch

    標準接頭形式

    VCR1/4陽接頭;
    1.125″C型密封接頭;
    1.125″W型密封接頭;
    Compression Fittingφ6

    電源接頭形式

    D型9針陽接頭;
    D型15針陽接頭;
    DeviceNet接頭

    重量

    1.2Kg

     


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