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    高純度金靶材磁控濺射儀

    產(chǎn)品簡介

    不同的蒸發(fā)速率下沉積300nm的Au薄膜,研究蒸發(fā)速率對薄膜表面形貌和性能的影響。隨著蒸發(fā)速率的提高,薄膜的結(jié)構(gòu)變得致密,晶粒尺寸和表面粗糙度減小。高純度金靶材磁控濺射儀KT-Z1650PVD在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜,儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動(dòng)控制,設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)。

    產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650CVD
    更新時(shí)間:2023-12-26
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:1489
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    品牌鄭科探濺射氣體根據(jù)需求氣體
    樣品臺(tái)尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
    樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
    靶材材質(zhì)金 鉑 銅 銀價(jià)格區(qū)間1-5萬
    產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

    高純度金靶材磁控濺射儀

    在不同的蒸發(fā)速率下沉積300nmAu薄膜,研究蒸發(fā)速率對薄膜表面形貌和性能的影響。隨著蒸發(fā)速率的提高,薄膜的結(jié)構(gòu)變得致密,晶粒尺寸和表面粗糙度減小。金薄膜方阻隨著蒸發(fā)速率提高無明顯變化,而方阻均勻性變差,但在可接受的范圍內(nèi)。但蒸發(fā)速率過高會(huì)引起金屬大顆粒增多。因此,選用適合的蒸發(fā)速率對Au膜質(zhì)量有很大影響。


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    高純度金靶材

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    應(yīng)用領(lǐng)域:

    離子濺射儀在掃描電鏡中應(yīng)用十分廣泛,通過向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導(dǎo)電樣品的荷電現(xiàn)象,并提高觀測效率,另外可以使用噴碳附件對樣品進(jìn)行蒸碳,實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。

    高純度金靶材磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù);

    控制方式

    7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    功率

    ≤1000W

    輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    真空

    機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺(tái)

    可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

    樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

    8轉(zhuǎn)/分鐘

    樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

    40-105mm

    真空測量

    皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預(yù)留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口






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