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    真空光電探針臺

    產品簡介

    真空光電探針臺 主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

    產品型號:
    更新時間:2024-03-27
    廠商性質:生產廠家
    訪問量:1551
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    品牌鄭科探應用領域電子

         真空光電探針臺 要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

     

     

     

          該真空光電探針臺 的承片X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-13mm;z方向調節范圍:0-13mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測。

     

     

     

    實驗腔體

    腔體材質

    304不銹鋼

    上蓋開啟

    鉸鏈側開

    內腔體尺寸

    φ140x180

    加熱臺材質

    304不銹鋼

    觀察窗尺寸

    φ75

    加熱臺尺寸

    50x50

    加熱臺溫度

    室溫-350℃可調

    加熱臺溫控誤差

    ±1

    真空度

    機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

    真空抽氣口

    KF25

    氣體進氣口

    3mm-6mm卡套接頭

    進氣閥門

    高精密針閥

    抽氣閥門

    KF25真空擋板閥

    壓力表

    機械壓力表 -0.1-0.15mpa

    信號電極

    4

    探針數量

    4

    探針材質

    φ1.5鎢針   其他材質可選

    探針移動平臺

    X軸移動行程

    30mm    ±15mm

    X軸控制精度

    ≤0.1MM 

    Y軸移動行程

    13MM    ±6.5mm

    Y軸控制精度

    ≤0.05MM 

    Z軸移動行程

    13mm   ±6.5mm

    Z軸控制精度

    ≤0.05MM 

    信號電極

    電極芯

    1

    電極引出接頭

    BNC母頭

    電極引出線

    銅網信號屏蔽線

    BNC引出接頭

    X4

    額定電流

    ≤5A

    額定電壓

    ≤220V

    電極芯直徑

    φ1mm

    接觸電阻

    ≤5MΩ

    絕緣電阻

    ≥1000 MΩ

    外殼接地

    電子顯微鏡

    電子顯微鏡根據客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通

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