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    小型新款磁控濺射儀

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    KT-Z1650PVD是一款小型新款磁控濺射儀小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

    產(chǎn)品型號(hào):
    更新時(shí)間:2024-03-27
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:2464
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    品牌鄭科探價(jià)格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子

        KT-Z1650PVD是一款小型新款磁控濺射儀小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。



    針對(duì)市場(chǎng)上其它型號(hào)我們做如下改進(jìn)

    1 腔體擴(kuò)充口可增加擴(kuò)展口  大可擴(kuò)展KF40接口方便連接分子泵 或 晶控傳感器

    2 樣品可旋轉(zhuǎn) 大轉(zhuǎn)速20轉(zhuǎn)每分鐘 使鍍膜樣品更均勻

    3 輕旋轉(zhuǎn)機(jī)械手柄 樣品高度可精細(xì)調(diào)節(jié) 樣品距離靶材距離可到1mm

    4 電動(dòng)擋板 使用人機(jī)界面程序控制打開或者關(guān)閉時(shí)間

    5 可通過人機(jī)界面手動(dòng)或者使用編程自動(dòng)控制預(yù)濺射(洗靶) 恒定功率輸出  變換功率輸出 定時(shí)打開擋板(時(shí)間單位 秒)關(guān)閉擋板 樣品轉(zhuǎn)速  工藝可存儲(chǔ)  工藝名稱可改 利如 噴金20納米厚

    6 腔體上蓋鉸鏈安裝 更換靶材方便操作

    7 此產(chǎn)品已申請(qǐng)多項(xiàng)技術(shù) 抄襲請(qǐng)慎重!!!

    小型新款磁控濺射儀技術(shù)參數(shù):

    控制方式

    7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    大功率

    ≤1000W

    大輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    極限真空

    機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺(tái)

    可旋轉(zhuǎn)φ62  (大可安裝φ50基底)

    樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

    8轉(zhuǎn)/分鐘

    樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

    40-105mm

    真空測(cè)量

    皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預(yù)留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口



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