真空低溫探針臺

   真空低溫探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

    真空低溫探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

1、總體規格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結構與特點

（1）真空腔體：真空度優于6×10-4Pa。降溫后優于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦

（4）變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩定性優于±0.02K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖

（6）系統直流漏電低于1pA

3、含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀

4、設備照片（因配置不同，照片僅供參考）